背景
DESライン装置(「現像」、「エッチング」、「剥離」の機能を備えた一体型ラインの装置)を用いたプロセスにおいて、エッチング加工の品質検査では抜き取り検査のみを実施していた。 しかし、近年、消費電力や動作速度の観点から半導体の微細化が進んでおり、その結果、抜き取り検査だけではエッチング加工のLWRによる線幅不良品が多かった。 そこで、エッチング加工における線幅の予測を行うことで不良品率を低下、さらに、予測を用いた自動化に伴う業務効率化も目指した。使用データ
<予測する為に必要なデータ>導入効果
<導入後のオペレーションの変化背景
製造業などにおいて、設備トラブル・機器トラブルが発生すると生産停止だけでなく、品質不良なども起こり得る。特に、大量生産・多品種の生産ラインでは設備故障による影響がより顕著に見られる。使用データ
<予測する為に必要なデータ>導入効果
<導入後のオペレーションの変化>背景
近年、少子高齢化に伴う人材不足や働き方の多様化などにより離職率が重要視されている。使用データ
<予測する為に必要なデータ>導入効果
<導入後のオペレーションの変化>